05纳米以内。

另外，在镀膜机周围加一圈恒温罩，避免温度的负面影响。」

其他人闻言，顿时豁然明悟。

林南毕竟是沪城光学精密机械研究所的高级工程师，能力和技术兼而有之，又是胡锐晖极力推荐的人才，关键时刻能拿出行之有效的方案倒也正常。

事实上，在陈延森看来，像林南等人，智商、领悟力和创造力都不错，但苦于接触不到euv光学的顶尖技术，这才像是鬼打墙似的，一直绕弯路。

若是能拥有同等的科研环境，林南未必开发不出一套收集镜系统，可很多事终究没有如果。

而陈延森能搞定这项技术，靠的也是远超常人百倍的精神力，以及能让他进入超频思维状态的【普朗克时钟】天赋。

不然以他原本的能力，或许也能突破这项技术，但要花费的时间，绝对不止半个月。

在拿到「多壳层掠入射椭圆收集镜系统」的技术方案后，星源科技光学部上下，立刻投入全部精力，以最快的速度反复打磨、全力复现，力求将这套系统成功应用到实际生产中。

算法组连夜加班，三天内就完成了膜厚监测程序的开发。

该程序可以实时采集镀膜机的雷射功率、沉积时间数据，还能自动生成膜厚误差曲线，当误差超过005纳米时，将会触发暂停指令，进而对精度进行实时校准。

由于研发中心还有大量光电所的工程师，所以科学协会的大佬们，没过多久就得知了星源科技的技术突破。

「老胡，你帮我问问，星源科技还缺不缺人？」

沪城光学精密机械研究所的汪象朝，主动拨通了胡锐晖的电话，支支吾吾地说道。

「什幺意思？你想辞职？开什幺玩笑！」

胡锐晖反问道。

汪象朝可是沪城光学精密机械研究所的中流砥柱，主要的研究方向都在euv光源领域，前后申请了170余项专利，妥妥的行业大牛。

「老胡啊，星源科技连自研的收集镜系统都弄出来了，你知道这意味着什幺吗？再往下走，光源系统就能彻底打通，一旦完成双工件台的研发工作，第一台国产euv光刻机就有了技术根基，你明白吗？」

汪象朝拿着电话，接连问道。

「老汪，你都一把年纪了……」

胡锐晖幽幽说道。

「放屁！六十岁，正是拼搏的年纪！算了，我还是找林南吧，不管怎幺说，我也是他的老领导。」

汪象朝见胡锐晖推三阻四的样子，瞬间气不打一处来。

按理说，他找林南更方便，却有点抹不开面子。

「这套系统的影响力有这幺大吗？」

胡锐晖是晶片设计工程师，对euv光刻技术自然了解，但仅限于表面。

比如一个人吃过蛋糕，也知道这玩意是用哪些材料制作的，但制作步骤和细节是什幺，他就不清楚了。

「国产光刻机的研发进程，至少缩短了十年！」

汪象朝语气笃定地给出评价。

胡锐晖深知汪象朝性格严谨，绝不会信口开河，他深吸一口气，终于意识到星源科技的变态之处。

消息层层上报，一份

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